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中科院研发出全固态DUV光源技术热点新闻解读!具体情况怎么样?附网友相关看法

2025-03-28 21:44 阅读了

中科院研发出全固态DUV光源技术

据九九财经于2025年03月28日 21时39分38秒发现,中科院研发出全固态DUV光源技术热点,ASML的担心真的应验了!

还记得ASML首席执行官曾说过:“中国人很聪明,美国制裁,可能会逼中国人研究出自己的技术。”

当时很多人觉得他在捧中国脚丫子,甚至国内也有一些人觉得他是为了卖光刻机,吹嘘中国。

结果啊,这话还没两年,国产光刻机再次实现重大突破。

根据中科院消息,中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术,用这项技术制造芯片,可以造出3nm芯片,而且成果得到了国际光电工程学会的认可。

真是大预言家啊!

不过这不重要,重要的是这项技术突破很快就引爆了芯片行业!

为啥?因为它和ASML的路线完全不同,甚至打破了欧美光刻机的传统思路。

要知道,光刻机的三大核心技术,就是光源系统、光学系统和双工作台,尤其是光源系统直接决定了光刻机的分辨率和精度。

咱们常说的EUV和DUV就是光源技术的两大种类。

在ASML的技术路线中,DUV光刻机一般用于制造7nm以上的芯片,只有EUV光刻机才可以造出7nm以下的芯片。

而EUV光刻机非常复杂,只有ASML的技术才能搞定。

因此啊,美国试图通过控制ASML,来锁死中国芯片技术。

然而中科院的固态DUV光源技术,打破了传统技术路线。

它与ASML的技术路线完全不同,传统DUV和EUV光刻机中光源是用的稀有气体来产生激光的,比如ASML的EUV光刻机光源采用的就是一项名叫氟化氙(ArF)的准分子激光技术。

而中科院光源技术不是用气体,而是固态晶体产生的。

别小看这个小小的转变,它直接带来了三大技术突破。

第一突破就是用DUV光刻机做出了EUV才能做到的事情。

根据中科院测试,固态DUV光源技术可以发射出193nm相干光,这个光的各项参数和光谱纯度与主流7nm 硅商用差不多。

这意味着它可以用在7nm甚至3nm芯片制造上。

如果这项技术能顺利落地的话,那么就意味着咱们不需要购买EUV也能造出先进的芯片,美国的光刻机制裁就没啥用了。

更关键的是,目前还只是在DUV上应用固态光源技术,如果在波长更短的EUV上也用这项技术呢?会不会生产出更先进芯片?概率还是很大的。

第二突破点则是绕开美国企业的专利群。

ASML几次向美国申请售卖EUV光刻机,但是都被美国拒绝了,有些人说那是因为荷兰怕美国制裁。

但问题是美国怎么制裁ASML呢?

答案很简单,就是EUV光刻机的核心技术其实是掌握在美国企业手里的,比如美国应用材料,英特尔、泛林集团等等。

就连EUV光源设备供应商Cymer曾经也是美国的,虽然现在转给ASML,但是美国的禁令,他们也不敢不遵守。

你ASML想挣中国的钱,问问美国企业答不答应?

所以美国能轻松拿捏ASML,进而控制整个芯片产业链。

中国也在想方设法绕过这些专利,比如哈工大就曾经用核聚变中的“Z箍缩技术”,来制造极紫外光源!

不过这项技术还是基于ASML的技术路线。

但是固态光源技术却完全不一样了,它基于固态设计的光源系统,不管是结构、材料都发生了巨大的变化,相当于重新设计一套系统。

新系统自然就没有专利束缚,可以大规模应用了。

至于第三个突破点也很重要:那就是结构更简单。

根据中科院信息,采用固态光源技术,光刻结构更简单,整体体积可以缩小30%以上。

要知道,光刻机的体积可是相当大的,有12米长,7米宽,4米高,里面各种设备相当复杂,被称为工业皇冠上的明珠。

ASML等欧美企业一直试图简化光刻机设备的复杂程度,但是一直没能成功。

现在中科院的方案却可以减少整整三分之一的体积,不仅意味着它更容易建成,还有能耗也能跟着减少。

有了这三大好处,我们大胆猜测中科院DUV固态光源路线还是值得期待的。

当然了,这项技术毕竟还在实验室,有许多技术细节还没完善,比如它的功率还比较低,需要不断迭代才行。

但就算它将来不能落地,那又怎么样?

今天能研发出核聚变光源和固态光源,明天就能研发出新的光源,一次又一次的尝试,总有一天能突破技术路线的限制。

这也是ASML最担心的一个。#光刻机突破在即##ASML CEO谈中国和西方芯片制造差异##ASML光刻机巨头#

网友看法

1、网友山岭老卒:如果这是真实的,值得大大的点赞,但文中又说”如果技术落地的话……”这是什么意思?

2、网友吃饱睡觉222:早几年前就说过,我们光刻机会像新能源车那样会实现弯道超车的,白菜价的芯片不远了

3、网友短线情报局:看股价,说明一切。

4、网友社会看官:这不是自媒体发的吗,我基本每天都能看到这种新闻

5、网友空空如也不空空:为中国科技人点赞,这是伟大的进步!

6、网友寻梦190681882:每一次进步,都让我心潮澎湃!

7、网友闲云野鹤:它们同样说过:就是把图纸给中国,中国人也要不出来。

8、网友凡尘暮鱼:[赞]为科技进步点赞

9、网友完美书签m5W:1 0.07W不到正常DUV的1/1000水平。2,原来国产DUV光刻机光源没有搞定啊,看来还是要进口日本的光源啊

10、网友烛光4471:不知道真假,中国人聪明,我一直相信,可是由于诸多原因,和美国的差距,我觉得不是近期能够赶超的,你们觉得呐?

11、网友大内蜜獾临临發:中国人民的聪明才智永远不应该被低估,盛世中华,吾辈当自强,大国崛起,指日可待。世界历史5000年,中华民族独占鳌头4000多年,绝不是浪得虚名,今日的崛起,凝聚了中华民族的智慧和力量。感谢华为!永远支持华为。

12、网友心愿144158316:西方国家都看美国佬的脸色活着,太可悲了,永远没有发展前途,美国佬迟早会被中国打败

13、网友清闲的荷叶t9e:省省吧!

14、网友水木蘭轩:转发了

15、网友好奇和田7V5:转发了

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